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微电铸技术是制备小尺寸、高精度金属微结构的常用技术。然而,在进行铜微电铸时,产品表面电流密度的分布呈现边缘大、中间小的趋势......
针对基于无背板生长工艺的微电铸模具高度不均匀问题，本文首次采用两种不同的周期换向电流进行了实验研究．两种周期换向电流分别是正......
利用有限元分析软件FLUENT对MEMS微电铸镀层均匀性进行了分析。对当物质传输成为金属沉积的控制步骤时，进行对流一扩散传质过程数值......
利用有限元分析软件FLUENT对微电铸镀层均匀性进行了分析。对当物质传递成为金属沉积的控制步骤时,进行铸层均匀性的数值模拟,研究......
In this paper,we report the study of the process of fabricating a multi-layermetal micro-structure using UV-LIGA overlay......
将纳米稀土La2O3作为添加剂,研究其在微细电铸镍工艺过程中的影响.采用SEM等现代分析手段对微细铸层微观结构和性能进行了测试.结......
鉴于微机电系统（MEMS）承载的特殊功能，其制造技术成为当前研究的热点。微细电铸以其固有的诸多技术优势，成为制造复杂结构MEMS零部件的......
微电铸工艺是太赫兹全金属光栅器件成型的关键工序。金属光栅质量取决于电铸工艺中金属离子沉积的均匀性,而电铸槽阴极附近电流密......
研究了LIGA／UV—LIGA的核心技术微电铸的内在规律，对影响铸层生长的阴极电流密度和流体流场进行了数值分析。以微流控芯片微模具上的......
